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標準厚度片 (以下簡稱標準片) 是用半導體硅材料制作而成經過精密拋光研磨等工藝制造的.其特點粗糙度小，平行度高，厚度精度高。
厚度標準片是用來給硅片厚度測量設備尤其是無接觸硅片厚度測量設備做測量前厚度標定用的，其在干燥無酸環境下可以永久保存使用。
技術指標：
粗糙度：≤0.1um
平行度：≤0.1um
厚度精度：≤0.1um
