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硅中磷元素含量,目前行業(yè)測(cè)量基本含量主要有SIMS/GDMS/ICP -MS質(zhì)譜檢測(cè)儀、低溫紅外傅立葉光譜儀、 磷棒法(硅多晶氣氛區(qū)熔基磷檢測(cè)法)。