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氧含量是指規(guī)中間隙氧元素的含量,單位個/立方厘米,半導(dǎo)體材料的氧含量過多,將減少少數(shù)載流子的復(fù)合壽命。 碳含量是指半導(dǎo)體材料中的代位碳元素的原子含量,單位個/立方厘米。